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特种气体中电子气体是什么

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  特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,特种气体主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等,主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。那么你知道电子气体是什么吗?
  电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件,化合物半导体器件,太阳能电池,光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中,全部工艺步骤超过450道,其中大约要使用50种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求,在充分保证工艺和产品安全使用的前提下,将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同,一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。
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