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特种气体的供气系统

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  通常特种气体根据气体性质不同分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体,不同的气体的供气系统不同,今天我们就给大家介绍一下它的供气系统。
  1、简单供气系统
  简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等,它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低,由于气体流量小,不经常使用,简单供气系统通常存在安全隐患。
  2、常规供气系统
  常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业,对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。
  3、大宗特气供气系统
  大宗特气供应系统采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。特种气体采用独立气源,多用点采用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大,多采用独立的气体房,独立的抽风系统。
  以上就是我们介绍的特种气体的供气系统,希望我们的介绍能够给大家带去帮助,如果大家还有什么想要了解的地方可以联系我们。
  小编:ly

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